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简 介:
    湿化学品、工艺化学品(Process Chemicals),是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一。
    湿电子化学品在半导体制造领域的应用,主要在集成电路和分立器件制作用晶圆的加工方面,主要有清洗和蚀刻两大类用途,在集成电路应用它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。在太阳能电池领域,湿电子化学品主要应用于电池片的制绒、清洗及刻蚀。在平板显示器制造过程中,湿电子化学品主要用于面板制造中基板上颗粒和有机物的清洗、光刻胶的显影和去除、电极的刻蚀等。包含通用湿电子化学品和功能性湿电子化学品。
    目前我国集成电路8英寸及8英寸以上晶圆用湿电子化学品的国产化,比率不足20%;平板显示用湿电子化学品整体国产化率为35%,其中OLED面板及大尺寸液晶面板所需的湿电子化学品部分品种目前仍被韩国、日本和我国台湾地区等少数电子化学品厂商垄断。
    本报告是我们中国电子材料行业协会在全面开展对国内外湿电子化学品企业、下游应用行业情况实际调研的基础上,掌握湿电子化学品在半导体、新型显示、太阳能等应用的全面统计数据,重点对集成电路及平板显示应用、市场、技术要求,分析全球湿电子化学品企业的竞争格局、市场发展趋势、国内企业关键差距与短板,未来企业发展方向,国内相关政策支持,产业发展建议等,为行业企业及投资单位提供专业参考。

目  录
 
第一章、湿化学品产品概述
(一)定义及分类
1.通用湿化学品
2.功能湿化学品
(二)标准及相关技术
1. 湿化学品SEMI标准
2. 国内湿化学品标准
3.湿化学品包装技术
(三)湿化学品在半导体领域中的应用
1.刻蚀液
2.清洗液
3.显影液
4.剥离液
(四)湿化学品在平板显示领域中的应用
1.湿化学品在 TFT LCD 中的应用
2.湿化学品在 OLED 中的应用
(五)湿化学品在太阳能电池领域中的应用
1.制绒及其使用湿化学品
2.清洗及其使用湿化学品
第二章、半导体领域用湿化学品市场概况
(一)全球半导体领域用湿化学品市场概况
1.全球半导体行业现状及发展趋势
2.全球半导体领域用湿 化学品市场概况
(二)中国半导体领域用湿化学品市场概况
1.中国半导体行业现状及发展趋势
2.中国半导体领域用湿化学品市场概况
第三章、平板显示领域用湿化学品市场概况
(一)全球平板显示领域用湿化学品市场概况
1. 全球平板显示产业与市场概况全球平板显示产业与市场概况
2. 全球平板显示领域用湿化学品市场概况全球平板显示领域用湿化学品市场概况
(二)中国平板显示领域用湿化学品市场概况
1. 中国平板显示产业与市场概况中国平板显示产业与市场概况
2. 中国平板显示领域用湿化学品市场概况中国平板显示领域用湿化学品市场概况
第四章、光伏太阳能电池领域用湿化学品市场概况
(一)全球光伏太阳能电池领域用湿化学品市场概况
1. 全球光伏太阳能电池产业与市场概况全球光伏太阳能电池产业与市场概况
2. 全球光伏太阳能电池用湿化学品市场概况全球光伏太阳能电池用湿化学品市场概况
(二)中国光伏太阳能电池领域用湿化学品市场概况
1. 中国光伏太阳能电池产业与市场概况中国光伏太阳能电池产业与市场概况
2. 中国光伏太阳能电池领域用湿化学品市场概况中国光伏太阳能电池领域用湿化学品市场概况
第五章、湿化学品行业竞争格局及技术发展
(一)行业历程
(二)市场现况
(三)竞争格局
(四)技术发展
第六章、中国湿化学品行业发展
(一)总体市场需求
(二)发展总体概况
(三)支持政策与规划
(四)国产化
(五)纯度要求
(六)主要供应商
(七)最新项目
1. 江化微超高纯湿电子化学品生产及再生利用项目江化微超高纯湿电子化学品生产及再生利用项目
2. 晶瑞电子材料新建年产晶瑞电子材料新建年产8.78.7万吨光电显示、半导体用新材料项目万吨光电显示、半导体用新材料项目
3. 四川格林达四川格林达100kt/a100kt/a电子材料项目电子材料项目
4. 兴福电子兴福电子66万吨万吨//年芯片用超高纯电子级化学品项目年芯片用超高纯电子级化学品项目
5. 多氟多年产多氟多年产66万吨湿化学品项目万吨湿化学品项目
第七章、国内外主要湿化学品生产商
(一)欧美主要湿化学品生产商
1. 巴斯夫巴斯夫
……
12. 索尔维索尔维
(二)日本主要湿化学品生产商
1. 住友化学
……
13. Santoku化学工业公司 .
(三)韩国主要湿化学品生产商
1. 东友精细化工有限公司
……
3. ENF科技有限公司
(四)台湾主要湿化学品生产商
1. 台湾东应化股份有限公司
……
9. 其它湿化学品生产企业
(五)国内主要湿化学品生产商
1. 江阴江化微电子材料股份有限公司
……
29. 江苏美阳科技有限公司江苏美阳科技有限公司
第八章、国内湿化学品发展存在问题与建议
(一)存在问题
(二)发展建议

 

图目录:
图1-1  电子化学品产业链
图1-2  湿化学品在半导体制程中的应用
图1-3  TFT-LCD剖面结构示意图
图1-4  TFT-LCD制作流程
图1-5  OLED结构和发光原理
图1-6  OLED面板制作流程
图1-7  晶体硅太阳能电池片结构示意图
图1-8  从多晶硅到太阳能电池组件的工艺过程
图1-9  太阳能电池片工艺过程及湿电子化学品的应用
图1-11  单晶太阳能电池片制绒加工工艺流程
图1-12   采用碱性溶液进行单晶太阳能电池片制绒加工的工艺控制要点
图1-13   多晶太阳能电池片的制绒工艺流程
图2-1 全球半导体市场营收(亿美元)
图2-2 全球半导体设备市场规模(亿美元)
图2-3 全球半导体用湿化学品市场规模(亿美元)
图2-4 全球半导体用湿化学品市场规模(万吨)
图2-5 中国集成电路产业销售额(亿元)
图2-6 国内12英寸半导体晶圆产能产量(万片)
图2-7 中国半导体分立器件市场规模
图2-8 中国半导体用湿化学品市场规模
图2-9 中国半导体用湿化学品市场需求(万吨)
图2-10 2019 年国内半导体晶圆用湿化学品细分品种占比
图3-1  2019年世界湿电子化学品市场格局
图4-1  2010年~2019年我国湿电子化学品生产量统计
图5-1  晶圆表面污染物示意图
图5-2  槽式蚀刻机晶圆蚀刻流程示意图
图5-3  2019年国内半导体芯片生产用各类湿电子化学品用量占总需求量比例
图6-1  晶体硅太阳能电池片结构示意图
图6-2  从多晶硅到太阳能电池组件的工艺过程
图6-3  太阳能电池片生产工艺过程
图6-4  太阳能电池硅片工艺过程及湿电子化学品的应用
图6-5  单晶硅绒面与多晶硅绒面对比
图6-6  单晶太阳能电池片制绒加工工艺流程
图6-7  采用碱性溶液进行单晶太阳能电池片制绒加工的工艺控制要点
图6-8  多晶太阳能电池片的制绒工艺流程
图6-9  2010年~2019年我国电池片产量变化情况
图6-10  2019年国内各类湿电子化学品在太阳能电池片加工中需求量比例
图7-1  TFT-LCD 剖面结构示意图
图7-2  TFT-LCD 制作工艺流程
图7-3  面板薄化过程厚度变化
 
 
表目录:
表2-1  湿电子化学品SEMI国际标准等级
表2-2  国内半导体用湿电子化学品BV系列标准
表2-3  硫酸SEMI标准(纯度限定和其他要求)
表2-4  过氧化氢SEMI标准(纯度限定和其他要求)
表2-5  高纯盐酸SEMI标准(纯度限定和其他要求)
表2-6  各种氟树脂材料主要性能
表3-1  境外主要湿电子化学品生产企业情况
表4-1  2019年底我国湿电子化学品主要生产企业简况及实际产能统计
表5-1  沾污类型、来源和常用清洗功效的湿电子化学品
表5-2  半导体硅片湿法清洗中常用的湿电子化学品的品种及用途
表5-3  常用湿法刻蚀技术及湿电子化学品应用品种
表5-4  国内12英寸半导体晶圆生产中使用各种湿化学品单耗量
表5-5  国内8英寸半导体晶圆生产中使用湿化学品单耗量
表5-6  2019年我国6英寸及以上半导体晶圆生产厂家及其产能情况
表 5-7  2019年我国6英寸~12英寸半导体晶圆产量及湿电子化学品消耗量
表5-8  2019年国内半导体晶圆生产中消耗各类湿电子化学品量
表6-1  太阳能电池片清洗的工艺流程
表6-2  2019年我国太阳能电池片生产所消耗的各主要湿电子化学品量
表6-3  2019年国内太阳能电池片加工用湿电子化学品用量比例及应用工艺环节
表7-1  平板显示制造过程中涉及湿化学品品种
表7-2  TMAH的物理性能与产品相关信息
表7-3  电子级四甲基氢氧化铵(显影液TMAH,25.0%)主要技术指标
表7-4  TFT-LCD制作用铝蚀刻液的主要技术指标
表7-5  ITO蚀刻液主要技术指标
表7-6  大陆地区面板产能产线分布情况(截至2016年底)
表7-7  我国内地LCD面板湿电子化学品需求量统计及预测(单位:吨/年)
表7-8  我国内地OLED面板湿电子化学品需求量统计及预测(单位:吨/年)
表8-1  2016~2021年我国三大应用市场对湿电子化学品需求量统计及预测(单位:万吨)
表8-2  2019年我国三大应用市场对湿电子化学品需求量统计(单位:吨)
表8-3  三大应用市场对湿电子化学品需求量的比例变化及其预测
表8-4  国内湿电子化学品三大应用领域对各种湿电子化学品的纯度要求
表8-5  国内半导体晶圆用各类湿电子化学品主要供应商
表8-6  国内液晶显示面板所需各类湿电子化学品的主要提供厂商
表8-7  国内晶硅太阳能电池片所需各类湿电子化学品主要供应商